
PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類(lèi)
更新時(shí)間:2025-11-26
瀏覽次數(shù):75TG800F
■ 任何方向
■ 緊湊尺寸
■ 節(jié)能
■ 快速啟動(dòng)
■ 快速關(guān)閉并用煤氣排氣
■ 耐久的氣流沖擊結(jié)構(gòu)
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 認(rèn)證安全標(biāo)準(zhǔn)NRTL / SEMI-S2 / CE

應(yīng)用
■ 半導(dǎo)體生產(chǎn)
■ 電子槍排氣,電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理,表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、測(cè)試設(shè)備
■ 燈具生產(chǎn),光學(xué)元件生產(chǎn)
■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研發(fā)
*如果排放腐蝕性氣體,請(qǐng)選擇我們的化學(xué)用途TG-M系列或TG系列。
| 型 | TG800F | TG800F*A*-60 TG800F*W* | |
| 進(jìn)氣法蘭 | VG150/ISO-B160/CF160 | ||
| 流量 | N2(L/s) | 820 | |
| N2 (帶防護(hù)屏障) (L/s) | 750 | ||
| H2(L/s) | 650 | ||
| 壓縮 比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 基壓 | (帕/托爾) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
吞吐量※1※2 | (SCCM) | 330 | 860 |
| 啟動(dòng)時(shí)間※2 | (分鐘) | 7-9 | 5.5-7 |
| 停工時(shí)間※2 | (分鐘) | 27-32 | 12-15 |
| 背 壓 | (帕/托爾) | 330/2.5 | |
| 推薦 的倒吸 真空泵 | (L/min) | ≧250 | |
| 位置 | 任何方向 | ||
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 27/26 | |
| 控制器 | TC1104 | TC1103※3 | |
*1:使用500升/分鐘的備用真空泵時(shí)。
*2:根據(jù)電源型號(hào)不同。(標(biāo)準(zhǔn):TC1104)
*3:如果是風(fēng)冷的,風(fēng)冷風(fēng)扇必須更換。(TG800F***-60)
[環(huán)境溫度使用]
確保達(dá)到極限壓力的環(huán)境溫度范圍是10-23°C。允許的環(huán)境溫度為風(fēng)冷類(lèi)型為10-32°C,水冷類(lèi)型為10-40°C。冷卻水的最高溫度(保證最終壓力)為30°C,冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。
[對(duì)應(yīng)氣體]
一些服務(wù)氣體會(huì)腐蝕潤(rùn)滑脂和內(nèi)部部件。請(qǐng)聯(lián)系大阪真空,獲取適用的燃?xì)忸?lèi)型列表。
郵箱:zcl@kitazaki.cn
傳真:86-010-67868591
地址:朝陽(yáng)區(qū)住邦2000商務(wù)樓A座1號(hào)樓406B